控制洁净室的参数都有哪些?
作者:吴江华威 来源: 日期:2018-09-22 11:43:57 人气:43
控制洁净室的参数都有哪些?
在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:
1、空气中的洁净粒子浓度;
2、气流的风速和单向性(对单向气流而言);
3、不同洁净度级别的洁净室之间和洁净室与普通房间之间的压差;
4、最终过滤器的整体性;
5、洁净室经污染空气洁净度的自净时间;
6、空气温度和湿度;
7、洁净室的密闭性;
8、洁净室表面的洁净度;
9、静电荷和离子发散;
10、空气中和表面的微生物污染;
11、空气中和工艺的分子污染
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